Sistemas Microeletromecânicos

Projetos para precisão e eficiência em robótica avançada

Fouad Sabry

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Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik / Technik

Beschreibung

"Sistemas Microeletromecânicos" é um recurso essencial para qualquer pessoa envolvida no campo em rápida evolução da ciência da robótica. Escrito por Fouad Sabry, este livro oferece uma exploração abrangente dos Sistemas Microeletromecânicos (MEMS), que estão no coração da robótica moderna, automação e tecnologia avançada. Este livro é um guia valioso para profissionais, estudantes, entusiastas e amadores, fornecendo insights teóricos e aplicações práticas. Se você quer entender como sistemas mecânicos de pequena escala influenciam a robótica, este livro é uma leitura obrigatória. Com conteúdo de ponta, ele oferece mais do que apenas o básico, tornando-o um investimento em seu conhecimento que valerá a pena a longo prazo.


Visão geral resumida dos capítulos:


1: MEMS: Explore os fundamentos da tecnologia MEMS, seus componentes e suas aplicações em robótica e além.


2: Fotolitografia: Aprenda o processo crucial da fotolitografia na fabricação de MEMS, essencial para projetar estruturas de pequena escala.


3: Fabricação de dispositivos semicondutores: Entenda como os dispositivos semicondutores são fabricados, cruciais para dispositivos MEMS em robótica.


4: Gravação isotrópica: Mergulhe no processo de gravação isotrópica, moldando materiais para MEMS com precisão.


5: Gravação de reativação: Descubra a gravação de reativação, uma técnica essencial para padronizar e estruturar materiais MEMS.


6: Gravação a seco: Examine métodos de gravação a seco que permitem a fabricação precisa de microestruturas em MEMS.


7: Microusinagem de superfície: Aprenda o processo de microusinagem de superfície, que cria estruturas 3D complexas para MEMS.


8: Microusinagem em massa: Entenda a microusinagem em massa e seu papel na criação de dispositivos MEMS com recursos complexos.


9: Gravação de reativação profunda: Descubra o processo de gravação de reativação profunda para criar recursos profundos e de alta espectrometria em MEMS.


10: Microfabricação: Estude as técnicas de microfabricação, onde o controle preciso sobre o material na escala de mícron é crucial.


11: Gravação de plasma: Explore o uso da gravação de plasma, permitindo a remoção de material de alta precisão para a criação de MEMS.


12: Gravação (microfabricação): Aprenda as técnicas essenciais de gravação usadas na microfabricação para fabricação de MEMS.


13: Ligação adesiva de wafers semicondutores: Entenda os métodos de ligação adesiva para integrar wafers semicondutores em aplicações de MEMS.


14: Litografia de estêncil: Descubra como a litografia de estêncil permite a transferência de padrões na fabricação de MEMS, auxiliando na precisão.


15: Veeco: Investigue o papel das tecnologias da Veeco no avanço dos processos de fabricação de MEMS.


16: Nano e Micro Devices Center: Aprenda sobre instalações de ponta especializadas em MEMS e nanotecnologia.


17: Ligação anódica: obtenha insights sobre ligação anódica, um processo crucial para criar selos herméticos em dispositivos MEMS.


18: Ligação eutética: estude técnicas de ligação eutética que garantem conexões fortes e estáveis ​​na tecnologia MEMS.


19: Gravação química assistida por metal: descubra o processo de gravação química assistida por metal usado para padrões de características finas.


20: Gravação a vapor: explore a gravação a vapor, uma técnica que permite a remoção precisa de material em nanoescala.


21: Fotorresistência: entenda o papel crítico da fotorresistência na fabricação de MEMS, permitindo a criação de padrões finos para estruturas complexas.


Este livro não apenas aprofunda sua compreensão de MEMS, mas também vincula essas tecnologias a aplicações do mundo real em robótica, tornando-o indispensável para qualquer pessoa que busque explorar mais esse campo.

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Schlagwörter

Gravura a seco, Fotolitografia, Fabricação de dispositivos semicondutores, Gravura isotrópica, MEMS, Gravação de íons reativos, Microusinagem de superfície